中频交流脉冲磁控溅射电源技术说明
发布网友
发布时间：2小时前
共1个回答
热心网友
时间：46分钟前
中频交流脉冲磁控溅射电源技术说明，涵盖以下关键参数：功率范围在10-80KW之间，采用AC380V三相四线制供电，频率在50-60HZ范围内，允许±10%的波动。输出方式为双极性脉冲，具备脉冲宽度10-901%的互补调整功能。输出频率可调节至1-25KHZ，空载状态下输出电压可达1000V（正向或反向峰值）。电源具备≤3uS的快速灭弧时间，确保了操作的稳定性和安全性。输出功率稳定性控制在1%以内，确保了设备的高效运行。冷却系统采用2-10风冷及10-80KW水冷方式，适应不同功率需求。工作环境要求为：环境温度在0-40℃之间，相对湿度≤85%，环境需保持空气清洁，无粉尘、雾，避免腐蚀性、易燃性气体的存在，确保通风良好。同时，冷却水需干净，不含矿物质及其它可溶性物质，水温应保持在20-30℃，压力稳定在0.15±0.05Mpa，确保设备的正常冷却与高效运行。
