单晶炉单晶炉的构成
发布网友
发布时间：2024-08-18 15:28
共1个回答
热心网友
时间：2024-08-29 04:02
单晶炉的构造主要包括以下几个关键部分:
提拉头部分由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头和软波纹管等组成，这些部件协同工作以实现晶体的生长和控制。
副室主要由副室筒和上下法兰构成，提供了一个稳定的生长环境。
炉盖由副室连接法兰、翻板阀、观察窗以及抽真空管道构成，确保炉内环境的观察和真空控制。
炉筒内设有取光孔，便于观察炉内的晶体生长情况。
下炉筒同样配备了抽真空管道，以维持炉内真空状态。
底座机架采用全铸铁材质，稳固支撑整个炉体，底部底座则提供坚实的支撑。
坩埚下传动装置包括磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、传动支撑架和导轨，负责精确控制坩埚的运动。
分水器和水路布局包括分水器、进水水管、胶管和水管卡套，确保冷却系统的正常运行。
氩气管道布置包含质量流量计、柔性管、不锈钢管、压力探测器以及高密封性卡套，确保氩气供应的稳定和安全。
真空泵和真空除尘装置包括油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道和硬波纹管，保证炉内真空度和空气质量。
电源及电控柜则由电源柜、滤波柜、控制柜和连接线组成，提供设备所需的电力和控制系统。
