多弧离子镀膜工作原理
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发布时间：2022-04-25 00:02
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热心网友
时间：2023-10-16 07:43
多弧离子镀膜是一种通过电弧放电和离子轰击的原理，在基材表面沉积出金属膜的技术。其基本工作原理如下：
1. 准备工作：将靶材（通常为金属）放置在真空室内，然后抽取空气，制造出高真空环境。
2. 电弧放电：使用高能量直流脉冲等方式加热靶材，引起金属表面产生高温等离子体，并将金属原子和离子释放到真空室中。
3. 离子轰击：通过调节离子加速器和磁控系统，使释放的金属离子在真空室中形成离子束，并以较高的能量轰击基底表面。在离子轰击的作用下，基底表面的原子得到激发，与金属离子之间发生反应，从而沉积出厚度0.1微米到数百微米不等的纯金属膜层。注意：在多弧离子镀膜的过程中，也可以添加其他气体或化合物来制备复合膜层，使金属膜层具有多种特殊性质。
4. 结束工作：完成离子轰击后，停止加热靶材，将沉积在基底表面的薄膜脱离真空室。
多弧离子镀膜具有高纯度、高致密度、厚度均匀性好等特点，同时还可以制备出不同颜色、不同组成的复合膜层，因此被广泛应用于光学、电子、机械等领域。
热心网友
时间：2023-10-16 07:43
多弧阴极根据靶材的不同,能够稳定工作的电流是不一样的,例如：如果是Cr靶,可以在60A左右就可以稳定工作,Ti靶在70A左右可以稳定工作,Zr的稳弧电流稍高一些,大约在100A左右,阴极的工作电压在20V-30V之间. 镀膜时,比如你要做TIC黑膜,就必须选用Ti靶,TI的工作电流在70A,工作电压在25V左右,需要向真空室内充入C2H2气体,镀膜时的真空度要保持在0.5Pa左右,一般情况下,是用分子泵或者扩散泵来抽取这些气体,使得真空室保持一定的压力,此时的滑阀泵和罗茨泵充当分子泵或者扩散泵的前级泵,是一直要开着的.
