减反射面的膜系有哪些

发布网友 发布时间：2022-04-25 02:42

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热心网友 时间：2023-10-21 21:04

是要原理，还是要用途？？？按用途的话，减反射膜有下面这些种类：

各种波段、各种基片的减反射（高增透）膜；
宽与窄带通滤光膜；宽与窄带高反射膜；
反热膜；
冷光膜；
偏振与消偏振分光膜；
激光与抗激光损害眼睛保护膜；
各种硬树脂（CR39等）与玻璃眼镜镀宽带减反（增透）及各种显色膜；
抗紫外、抗红外、抗微波电焊保护膜；
各种高低温基片导电透明（ITO）膜；光通讯器件膜（光导端面单波或多波超高增透膜）；
抗摩擦损伤膜；
准分子激光高反膜；
DVD光学镀膜；
用于DVD、投影仪等数码技术的耐湿、耐高温、耐摩、宽光谱带的金属介质组合膜（可见光谱区平均反射率大于98％，近红外光谱区反射率大于98.5％）及各种特殊要求的光学镀膜

热心网友 时间：2023-10-21 21:04

减反射薄膜膜系优化设计及工艺研究 _r+2o-ZR
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本论 文 系 统地研究了减反射薄膜的设计、优化与镀制工艺。采用单纯形优化方法编 e1a8>>b cI
制程序，完成了以K9玻璃为基底的减反射薄膜的膜系设计，并对SiO2. Ta20，单层膜的  =`fJ
制备工艺进行了大量的研究，获得在可见光波段具有高透过率的SiO2/Pa205多层减反射 Wt=QCu tt
薄膜样品。 fWo}gH~
论 文首 先 分析了减反射薄膜的应用、发展现状及展望。 3e
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在多 层 减 反射薄膜的设计中，作者从光学薄膜理论出发，利用MATLAB计算机语言， !DgN@P.o
得出多层减反射膜系的设计结果及光谱特性曲线。为得到更好的减反射效果，作者又根 qRk&bF/
据单纯形法的原理对设计膜系进行了优化，得到一个更高透过率的多层减反射膜系，理 B->3/dp2c'
论透过率在可见光波长范围内可以达到99%以上，并根据优化的理论膜系进行了样品膜
'%U'%')
系的制备，样品实际透过率达到%%-97%以上，起到了光学增透的作用。 :iW+CD)j
根据 多 层 膜的优化结果，选用折射率为1.52的K9玻璃为基底，并采用射频反应磁控 (bpO>4(S
溅射方法制备了SiO/Ta20，多层膜，分别研究了沉积工艺参数对单层SiO2和Ta205薄膜光 'T G4
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学性能的影响，为多层膜沉积奠定了基础。 }4'5R
在工 艺 研 究时，分别分析了氧气含量、基片温度、工作真空度等工艺参数对薄膜的 Da.eVU;
光学性能及结构的影响，确定了单层薄膜的沉积速率。分析结果表明氧气含里对薄膜的 \YXzq<7
折射率影响很大，Ar/OZ混合反应溅射在氧含量大于13%之后可制备出折射率符合设计 ~SKV%
要求的Si02薄膜，而Ta205薄膜的氧含量需要达到80%以上。基片温度、真空度都是薄 HW|5'opF
膜光学性能的重要影响因素。 dJvT2s.t[
最后 ， 利 用椭圆偏振仪测量了单层Si02和Ta2O5薄膜的折射率和厚度，用分光光度 EJAk'L+nuH
计测量了薄膜的透过率光谱曲线，薄膜的微观形貌和结构由原子力显微镜以及X射线衍 AvP$>Alc
射仪进行了分析。检测结果进一步验证了各工艺参数对减反射薄膜光学性能的影响。 z@za9U`6i
关键词:减反射薄膜;优化设计;单纯形法;工艺研究