编码器的原理、主要作用是什么，精度为多少
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发布时间：2022-04-21 22:08
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热心网友
时间：2023-07-15 08:09
纳米编码器的原理：XY编码器或者叫栅格，在X和Y方向上以10um的作为基础周期，整个计量系统则以5um的作为测量周期。NG用三相90-element的探测器从栅格中捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号。这三个信号为极小的移动提供一个非常明确的测量相位。
NG-A纳米编码器的作用：在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的精度，并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。
精度：亚纳米的分辨率；重复性小于5nm。
热心网友
时间：2023-07-15 08:09
概述
NG-A是用于测量二维超精密的平面位移的测量系统。NG-A是一个XY网格编码器系统，湍流效应是激光干涉仪经常会遇到的，该系统也可以避免与相单独线性尺度关联的阿贝误差。NG-A在制造栅格的过程中，能够保证其达到激光干涉仪的精度，并且以一个更经济的价格、更实用和更坚固的制造工艺来封装它。
